設備通訊應用程式開發

服務細項

  1. 協助訂定SECS/GEM 應用程式功能規格
  2. 協助撰寫機台 SECS/GEM User Manual
  3. 制訂 SECS/GEM 應用程式和機台資料交換介面
  4. 軟體開發應用程式執行檔,符合SEMI E4、E5、E30、E37規範
  5. 機台連線模擬測試
  6. 搭配設備進行EQP & EAP整合測試作業