SECS/GEM 介紹

Technology overview

SECS/GEM(SEMI Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model)是半導體設備和上層(host)溝通用的通訊協定/介面，在自動化的晶圓廠，透過此介面可以對設備下達開始或停止的指令、蒐集量測資料、改變製程參數和選擇配方，SECS/GEM標準詳細定義了如何達成上述工作[wiki]。

SECS/GEM協定涵蓋了SECS I、HSMS、SECS II和GEM。

SECS I定義了SECS通訊的電氣規格、傳輸速度、交握碼(handshake codes)、資料長度(length)、訊息表頭(message header)、檢查碼(CheckSum)與等待時間等限制。在實施上，以RS232為串列通訊標準，8N1的傳輸協定，並採用半雙工方式通訊，速度上多採用9600bps，少數使用19200bps。

HSMS(High-Speed SECS Message Services)在TCP/IP的基礎上透過Ethernet進行訊息交換，此標準主要是用來取代速度較慢的SECS I。

SECS II以訊息(message)的方式規範傳遞資料的標準結構，所有的訊息依照屬性的不同進行分類，稱為stream，比如設備狀態(S1)、資料蒐集(S6)或配方管理(S15)。每一個stream包含了許多指定的訊息，稱為function，每一個訊息都是由項目(item)或項目表(list of items)所組成。

GEM(Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)提供設備共通的行為在SECS II基礎上的通訊準則。SECS II是設備與主機的一個標準通訊協定，但實際在機台設備上會用到的並非全部，因此若可以找出設備通訊和控制上所需的項項目，同時針對這些項目來撰寫程式或設計機台，將可剩下可觀的研發費用。也就是說GEM是SECS II標準的一種標準實施方法，GEM明確定義了在什麼情況下要用哪一個SECS II訊息通訊。

GEM主要功能/層次示意

完整的SECS標準相關出版訊息，可以在SEMI的網頁購買。