SECS/GEM/300mm EQP開發

服務內容

• 協助規劃及開發SECS/GEM/300mm 機台之自動化流程
• 客製化介接 MES 系統
• EQP系統符合SEMI E4、E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94規範
• 搭配設備及MES進行EQP、EAP、MES整合測試作業